Anwendungsbeispiele:
Lasererodierte
Struktur
Chromstruktur auf
Walzenoberfläche
Lasergravur
auf Glas
Ebenheit und Rauheit
einer Dichtfläche
Das Weißlichtinterferometer WLI ist zur berührungslosen Messung superglatter bis moderat strukturierter technischer Oberflächen vorgesehen. Eine breite Auswahl an Objektiven mit Vergrößerungen zwischen 2.5x und 100x sowie Implementierung unterschiedlicher Auswerteverfahren überdecken einen breiten Applikationsbereich zwischen mikroskopischen und makroskopischen Applikationen. In Verbindung mit dem integrierten Piezoversteller sind Meßbereiche bis 400 µm und Auflösungen im sub-nm Bereich möglich.
Das Interferometer kann als OEM-Komponente eingesetzt werden, oder bildet in Verbindung mit unseren Meßständern Hyperion, Enceladus und Titan ein preisgünstiges und flexibles Meßsystem.

Arbeitsprinzip:

Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild. Spezielle Algorithmen (Details) bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast.





Besondere Vorzüge:

  • Mikroskopbasierte Technologie zur Erfassung kleinster Details bis ans physikalische Limit.
  • Flächenhaftes Messverfahren für sekundenschnelle Ergebnisse.
  • Wartungsfrei und langlebig durch LED-Technologie, geringe Leistungsaufnahme.
  • Geeignet für mikroskopische bis großflächige Messungen.
  • Höchste laterale und axiale Auflösung.
  • Umfangreiches Sortiment an ausgesuchten Objektiven höchster Qualität mit Vergrößerungen zwischen 2.5x und 100x verfügbar.
  • Kompakte Abmessungen: 220 x 93 x 65mm incl Objektiv.
  • In OEM-Aufbauten integrierbar.
  • Wahlweise als Zusatz zu Industriemikroskop verfügbar.
  • Preisgünstig.

Applikationen:

  • Messung von Topografie, Höhe, Form, Position.
  • Bestimmung abgeleiteter Größen wie Rauheit, Fläche, Ebenheit oder Volumen.
  • Visualisierung durch parallele Erfassung des Oberflächenbildes.

Einsatzbereiche:

  • Halbleiterbereich, Elektronik, Elektrotechnik
  • Optik, Materialforschung, Maschinenbau
  • Medizintechnik
  • Messungen an hochempfindlichen, weichen oder flüssigen Medien
  • Messungen an optisch anspruchsvollen Messobjekten

empfohlene Meßständer:

 
>> Technische Daten des Weißlichtinterferometers

>> Datenblatt als PDF Download (100kB)