|
|
Kompatibel mit einem oder mehreren unserer Sensoren:
|
|
Autofokussensor
|
|
|
Konfokalsensor
|
|
|
Tele-Konfokalsensor
|
|
|
Weißlichtsensor
|
|
|
Weißlichtinterferometer
|
|
|
|
Die Kompaktanlage Hyperion ist ein hochpräzises 3D Meßsystem
zur berührungslosen Erfassung von Topographien und Profilen. Zur
Meßwerterfassung dienen die optischen Sensoren der OPM GmbH.
Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe
von 1.5 mm, in Verbindung mit der optionalen motorisierten Z-Achse
bis in den cm-Bereich und einer Auflösung bis zu 10 nm,
beim Interferometer bis in den sub-nm Bereich.
Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse
der aufgenommenen Meßdaten.
|
|
|
|
- Multisensorfähig.
- geringer Platzbedarf und geringes Gewicht bei höchster Präzision
- integrierte Motorsteuerelektronik, keine PC Einbaukomponenten erforderlich
- Anpassung an vielfältigste Messaufgaben durch verschiedene Sensoren
- Meßstellenbeobachtung durch integriertes Mikroskop (AF16, Weißlichtinterferometer) oder Seitenmikroskop
(optional für KF3, KF3/Tele, C1)
- umfangreiche Analysemöglichkeiten der aufgenommenen Daten
- exzellentes Preis- Leistungsverhältnis
- in verschiedenen Ausführungen von 50x50mm bis 300x300mm verfügbar
- Labor- und Institutsbereiche, speziell Materialforschung
- Mikromechanik und Nanotechnologien
- Meßräume in der Industrie
- prozessbegleitende Qualitätssicherung
|
Weitere Anlagenausführungen:
|
|