Kompatibel mit einem oder
mehreren unserer Sensoren:
Bild AF16
Autofokussensor
Konfokalsensor
Tele-Konfokalsensor
Weißlichtsensor
Weißlichtinterferometer
Die Kompaktanlage Hyperion ist ein hochpräzises 3D Meßsystem zur berührungslosen Erfassung von Topographien und Profilen. Zur Meßwerterfassung dienen die optischen Sensoren der OPM GmbH. Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe von 1.5 mm, in Verbindung mit der optionalen motorisierten Z-Achse bis in den cm-Bereich und einer Auflösung bis zu 10 nm, beim Interferometer bis in den sub-nm Bereich.
Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse der aufgenommenen Meßdaten.

Vorteile der Kompaktanlage Hyperion: 
  • Multisensorfähig.
  • geringer Platzbedarf und geringes Gewicht bei höchster Präzision
  • integrierte Motorsteuerelektronik, keine PC Einbaukomponenten erforderlich
  • Anpassung an vielfältigste Messaufgaben durch verschiedene Sensoren
  • Meßstellenbeobachtung durch integriertes Mikroskop (AF16, Weißlichtinterferometer) oder Seitenmikroskop (optional für KF3, KF3/Tele, C1)
  • umfangreiche Analysemöglichkeiten der aufgenommenen Daten
  • exzellentes Preis- Leistungsverhältnis
  • in verschiedenen Ausführungen von 50x50mm bis 300x300mm verfügbar
Einsatzgebiete:
  • Labor- und Institutsbereiche, speziell Materialforschung
  • Mikromechanik und Nanotechnologien
  • Meßräume in der Industrie
  • prozessbegleitende Qualitätssicherung
 
>> Technische Daten der Kompaktanlage Hyperion

>> Datenblatt der Kompaktanlage Hyperion als PDF Download (470kB)

Weitere Anlagenausführungen: