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Technische Daten des WLI moB Weißlichtinterferometers | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Messprinzip |
Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild. Spezielle Algorithmen (Details) bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast. |
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| Ausführung | Sensorabmessungen 220 x 93 x 65mm incl. Objektiv und Piezoversteller. Anschlüsse für USB 2.0 und LED an der Sensoroberseite. Separate Steuerelektronik für Sensor und Piezoversteller im flachen Tischgehäuse. |
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| Mikroskop | Integrierte Hellfeld-Auflichtbeleuchtung. Das Bildfeld hängt vom verwendeten Objektiv ab. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Kamera |
USB 2.0-Kamera mit 768 x 576 pixel, bis 48 Bilder/s Megapixelkameras bis 4MPix optional verfügbar. |
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| Beleuchtung | Integrierte grün-blaue Hochleistungs-LED (505nm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Messbereich | 100, 250 oder 400µm Softwareoption für Messbereichserweiterung über externen Versteller |
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| Standardobjektive |
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| Gewicht | c.a. 1kg ohne Objektiv | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Abmessungen | ca. 220 x 93 x 65mm mit Objektiv und Piezoversteller. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Systemeinbindung | USB 2.0, RS232. DLL zur Intergration in OEM-Software verfügbar. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Softwareunterstützung | vollständige Einbindung in Mess- und Auswertesoftware Inspector, automatisierbar | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Optionen |
motorisierte Z-Achse. motorisierte X/Y-Achse. Software für Bildfeldzusammenführung (Panoramabilder). Ausführung als Zusatz zu Industriemikroskop. Megapixelkamera. |
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| empfohlene Meßständer |
Enceladus. Hyperion. Titan. |
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1 geometrisch/optisch 2 flächenhafter Ra-Wert bzw. flächenhafte Standardabweichung, |
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| Technische Änderungen vorbehalten. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||