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Anwendungsbeispiele:
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Bumps auf Wafer
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Halterung für Lichtwellenleiter
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Chipkarte
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Dickschichtwiderstand
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Der Konfokalsensor Tele
ist zur berührungslosen Messung technischer Oberflächen
vorgesehen. Durch hohe Dynamik, Meßgeschwindigkeit sowie
einfache Anwendung ist er insbesondere für die Aufnahme
komplexer Topographien geeignet. Der große Arbeitsabstand
erlaubt eine Messung an schwer zugänglichen Positionen.
Arbeitsprinzip |
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- Messungen an unzugänglichen Stellen, in Taschen oder an
Meßproben in Halte- und Transportvorrichtungen
- Messungen an hochempfindlichen, weichen oder flüssigen
Medien
- Messung von Ebenheit, Höhe, Position
- Bestimmung abgeleiteter Größen wie Fläche,
Dicke, Traganteil
- Serienmäßige Meßaufgaben bei wechselndem Personal
- Mikrostrukturtechnik
- Elektrotechnik, optische Industrie
- Kunststoff- und Papierverarbeitung
- Inspektionsaufgaben in der Halbleiter- und Leiterplattenfertigung
- Werkzeugbau
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