 |
 |
 |
|
|||
|
|||
|
|
Technische Daten des Tele Konfokalsensors | ||||
| Messprinzip | Auswertung der maximalen Leuchtdichte unter Einsatz eines schwingenden Objektivs. Nach Abschluß jeder Halbschwingung liegt die Intensitätsinformation über den kompletten Meßbereich vor. Beliebige Stufen im Meßbereich werden innerhalb 5 ms erfaßt. Die Meßwerte sind unabhängig von der Meßrichtung. | ||||
| Abmessungen | Tischgehäuse: 260x180x80 mm Sensor : 132x111x50 mm Objektiv: 65xØ30 mm |
||||
| Meßbereich | 1000 µm | ||||
| Auflösung | 20 nm | ||||
| Linearität | 2 µm über den Messbereich | ||||
| Reproduzierbarkeit | Standardabweichung <= 15 nm bei einer Stufenhöhe von 504 µm auf polierter Oberfläche | ||||
| Arbeitsabstand | 13,5 mm | ||||
| Strahlquelle | Halbleiterlaser mit einer Wellenlänge von ca. 780 nm, Ausgangsleistung 120 µW | ||||
| Laserklasse |
|
||||
| Meßfleckgröße | 2,0 µm beugungsbegrenzt | ||||
| Oberflächenneigung | 90°+/- 25° bei hochglänzender Oberfläche, mehr bei diffuser Reflektion | ||||
| Dynamik | Verarbeitet Reflexionsunterschiede größer als 5000:1 in einem Bereich ohne Einfluß auf die Meßgeschwindigkeit. | ||||
| Abtastrate | 16 Hz - 1 kHz, unabhängig von der Oberflächenbeschaffenheit | ||||
| Sprungantwort | Anstiegszeit <= 5 ms | ||||
| Datenübertragung | RS232 1000/s Profilwerte + Reflexionswerte in Echtzeit | ||||
| Gewicht | ca. 2 kg Sensor ca. 4 kg Auswerteeinheit |
||||
| Optionen | Analogausgang 0-10 V für Profil und Reflexion Triggerung der Datenaufnahme auf Encodersignale |
||||
| Technische Änderungen vorbehalten. |
|||||
