Technische Daten des KFM xpert Konfokalmikroskops
  Messprinzip

Konfokaler Meßmodus: Flächenhafte konfokale Detektion mittels rotierender Nipkowscheibe. Aufgrund der tiefendiskriminierenden Wirkung des konfokalen Strahlengangs gelangen nur Bildteile in unmittelbarer Umgebung des Fokus zur Abbildung und Auswertung. Ein spezieller authentic peak detection Algorithmus extrahiert aus den Bilddaten sowohl die Profilhöhe als auch ein omnifokales Oberflächenbild.

Interferometrischer Meßmodus: Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild. Spezielle Algorithmen (Details) bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast.

  Ausführung Integrierte Steuerelektronik für Sensor und Piezoversteller. Anschlüsse für Tischnetzteil, FireWire und RS232 an der Sensoroberseite. Manueller Objektivrevolver.
  Mikroskop Integrierte Hellfeld-Auflichtbeleuchtung mit motorisierter Umschaltung zwischen konfokalen und interferometrischen Strahlengang. Das Bildfeld hängt vom verwendeten Objektiv ab.
  Kamera FireWire-Kamera mit 780 x 580 pixel, bis 48 Bilder/s
  Beleuchtung Integrierte grün-blaue Hochleistungs-LED (505nm)
  Verfahrbereich 50mm, 100mm
  Messbereich bis 4mm
  Standardobjektive
Konfokalmodus
  10x 20x 40x 50x 100x
numerische
Apertur 		0.50 0.75 0.95 0.80 0.90
Arbeitsabstand
(mm) 		1.0 1.0 0.14 1.0 1.0
Bildfeld
(µm x µm) 		1920x1440 960x720 480x360 384x288 192x144
Auflösung 1
lateral (µm)		 2.46 1.23 0.62 0.492/0.39 0.246/0.34
Auflösung 2
axial (µm)		 0.01 0.003 0.002 0.002 0.001
Interferometriemodus
  2.5x 5x 10x 20x 50x
numerische
Apertur 		0.075 0.13 0.3 0.4 0.55
Arbeitsabstand
(mm) 		10.3 9.3 7.4 4.7 3.4
Bildfeld
(µm x µm) 		7680x5760 3840x2880 1920x1440 960x720 384x288
Auflösung 1
lateral (µm)		 9.85 4.92 2.46 1.23 0.49/0.56
Auflösung 2
axial (nm)		 1.0 1.0 1.0 0.1 0.1
  Gewicht c.a. 5kg
  Abmessungen ca. 394x140x100mm ohne Objektiv und Revolver
ca. 504x140x100mm komplett
  Systemeinbindung FireWire, RS232. DLL zur Intergration in OEM-Software verfügbar.
  Softwareunterstützung vollständige Einbindung in Mess- und Auswertesoftware Inspector, automatisierbar
  Optionen motorisierte X/Y-Achse.
motorisierter Objektivrevolver.
Software für Bildfeldzusammenführung (Panoramabilder).
Farb/Megapixelkamera.
    1 geometrisch/optisch
2 flächenhafter Ra-Wert bzw. flächenhafte Standardabweichung,
   
Produktdatenblatt (500kB, pdf)
   
Anwenderhandbuch (880kB, pdf)
 
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